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应用案例
CASE
无铅锡基微焊球是微电子专用焊接材料。随着电子电器产品微型化、高性能发展，电子封装密度越来越高，无铅焊料的可靠性要求越来越高。其中球形度、直径尺寸、尺寸分布、球体表面工艺缺陷、环境试验特征缺陷检查都需要大量扫描电镜测试。
太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏。太阳能芯片的表面微观形貌、原料和工艺对电池电性能影响很大，需要扫描电镜进行观测，从而控制电池质量。 仪器介绍： EM科特扫描电镜分为 CUBE系列扫描电镜、GENESIS系列扫描电镜、VERITAS系列扫描电镜。 试验方法： 取不同工艺进程的电池芯片直接放入扫描电镜中观察。快速观察模式，照相时间 10s 结论： EM科特扫描电镜，可满足硅太阳能电池制造工艺控制检测需要。采用CUBE台式扫描电镜或GENESIS系列扫描电镜，需要切割芯片。使用VERITAS 系列扫描电镜可观察整块芯片，无损检测。 1、晶圆制绒结构扫描电镜图像 2、晶圆表面Saw damage etching 3、铝浆电极扫描电镜图像 4、银浆电极扫描电镜图像 20000x 50000x
水化硅酸钙在硅酸盐水泥水化产物中，体积和重量均占首位，对混凝土的一系列宏观性能有重大影响，是水泥工作者研究重点。凝胶颗粒细小，处于胶体粒子尺寸范围（1‐100nm），光学显微镜无法观察，扫描电镜是重要的检测手段。
