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Smart SE,智能型多功能椭偏仪是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。
Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台,从简化的工作流程到高端研发,满足不同层次和需求的客户。
Smart SE是一款性价比更高的薄膜研发工具,以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统,准确定位分析位置及区域,7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵,用于复杂样本的研究。
Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域,包括微电子,光伏,显示,光学涂料,表面处理和有机化合物等。
性能指标
光谱范围 | 450nm to 1000nm |
光谱分辨率 | 优于3nm |
光源 | 卤素灯和蓝光LED |
测试时间 | 小于1秒到10秒 |
光斑尺寸 | 75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm |
入射角 | 450 to 900 ,步径50 |
样品尺寸 | 200mm以内 |
样品准直 | 手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角 |
外形尺寸 | 100cm * 46cm * 23cm(W*H*D) |
*仅提供概要性产品信息,这些信息不得构成任何订单或合同的一部分或视为与相关产品或服务有关的陈述,本公司保留更改任何产品信息或服务的规格、设计或供应条款的权利
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