Smart SE，智能型多功能椭偏仪是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。

Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台，从简化的工作流程到高端研发，满足不同层次和需求的客户。

Smart SE是一款性价比更高的薄膜研发工具，以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统，准确定位分析位置及区域，7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵，用于复杂样本的研究。

Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域，包括微电子，光伏，显示，光学涂料，表面处理和有机化合物等。

性能指标

光谱范围	450nm to 1000nm
光谱分辨率	优于3nm
光源	卤素灯和蓝光LED
测试时间	小于1秒到10秒
光斑尺寸	75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm
入射角	450 to 900 ，步径50
样品尺寸	200mm以内
样品准直	手动调整样品台高度（17mm以内）和倾角
外形尺寸	100cm * 46cm * 23cm(WHD)