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产品描述
Veritas系列保持EM科特(EmCrafts)电子显微镜的高性能高效率,大样品仓内含5轴共心电动样品台,可更轻松地测量大尺寸样品。
EM科特Veritas系列产品技术亮点:
- 大尺寸样品分析 Veritas系列可以分析常规SEM无法分析的大尺寸样品。例如:晶圆,磁盘
- 无损样品分析 无需切割即可分析样品。例如PCB,半导体图案分析
- 较重样品分析 能够分析较重的样品。例如岩石,铁矿石
技术指标:
分辨率 |
2nm |
放大倍数 |
x10-x300000 |
电子枪 |
LaB6/CeB6 |
探测器 |
二次电子探测器、背散射探测器 |
真空系统 |
全自动真空系统(<90s) |
显示模式 |
聚焦模式 预览模式 |
自动功能 |
聚焦 |
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