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Veritas系列保持EM科特电子显微镜的高性能高效率，大样品仓内含5轴共心电动样品台，可更轻松地测量大尺寸样品。
EM科特Veritas系列产品技术亮点：
- 大尺寸样品分析 Veritas系列可以分析常规SEM无法分析的大尺寸样品。例如：晶圆，磁盘
- 无损样品分析 无需切割即可分析样品。例如PCB，半导体图案分析
- 较重样品分析 能够分析较重的样品。例如岩石，铁矿石
技术指标：
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分辨率 |
2nm |
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放大倍数 |
x10-x300000 |
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电子枪 |
LaB6/CeB6 |
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探测器 |
二次电子探测器、背散射探测器 |
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真空系统 |
全自动真空系统（＜90s） |
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显示模式 |
聚焦模式 预览模式 |
|
自动功能 |
聚焦 |
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