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台式扫描电镜的特点有哪些
发布时间：
2021/09/15 00:00
落地式扫描电镜的发展历史可以追溯到电子显微镜的新兴时代。顾名思义，它占据了大量空间—从地面延伸到大约1.5米的高度。随着科技发展以及市场需要，一种体积小巧的小型化扫描电镜诞生，通常也被称为桌面式或台式扫描电镜（SEM），体积缩小了将近80%。除了外型尺寸外，落地式扫描电镜和台式扫描电镜之间的区别还体现在探测器、易操作性、安装环境和价格等方面。
根据市场需求，多数用户表示，使用扫描电镜的主要做形貌的观测和成分的分析。因此，台式扫描电镜主要聚焦两个核心功能：用于形貌观测（集成背散射电子探测器（BSD）和二次电子探测器（），以及用于成分分析（结合能谱探测器），因此台式扫描电镜可以得到广泛应用。
飞纳手套箱版扫描电镜PhenomAr-C是可以完全放置在充满氩气环境的手套箱内的台式扫描电子显微镜，允许研究人员对空气敏感的锂电池样品进行研究。
滤膜的过滤性能对各制程、产品质量有很大影响，利用飞纳台式扫描电镜可以快捷地获取滤膜的SEM表征结果，对滤膜的孔径和孔道形貌、分布进行分析。如下图(A)、(B)所示为典型的尼龙滤膜和聚醚砜滤膜的表面孔洞结构，通过扫描电镜（SEM）图可以清晰地观察孔洞的形态和分布状态，并对滤膜的孔径进行测量统计。
在进行电子器件失效分析时，首先观察失效件表面的微观形貌，飞纳台式扫描电镜集成有背散射（BSD，明暗衬度明显的成分像）和二次电子（，立体形貌像）两种成像模式，两种模式各有特点，可以呈现不同的细节信息。
落地式SEM需要占据大量的空间来容纳整个电镜系统，甚至需要专门的安装房间，并在特定的防磁防震环境中才能正常运行。降低安装环境要求是研发桌面式SEM的另一驱动力，小型化和专利防震的设计提升了系统对振动和电磁场的耐受性。台式扫描电镜不需要安装在防磁防震环境中，甚至可以放置在产线旁、移动车厢内，搬运也非常方便，节省了空间以及场地改造费用，增加了使用场景的灵活性。
空气过滤膜通过有效的去除空气中悬浮颗粒物达到净化空气的目的，在微电子、医院、食品、制药、环保、化妆品、军事等领域都有重要应用。常见的空气过滤材料包括玻纤空气过滤纸、熔喷布、PTFE过滤膜、复合玻纤过滤毡等。纤维直径、取向和孔径都对滤膜的过滤效率有所影响，利用台式扫描电镜可以方便的对玻纤原料进行形貌和成分的表征。
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