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Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪,真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵,无油真空系统,真空度可达2×10 -6 mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器,可控制镀膜厚度。全自动电脑控制,自动完成抽真空,镀膜,放气等全过程,一键操作。采用当下流行的触摸屏控制,简单方便。仪器可选离子溅射镀金属膜,满足高分辨场发射扫描电镜(FE-SEM)需求。可选碳丝蒸发镀碳膜,用于X-射线能谱及波谱分析,或者TEM铜网镀碳膜。还可以选择电子束蒸发方式镀膜,获得极其细腻的金属膜与碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。
主要技术参数
• 可任选离子溅射模式,碳丝蒸发镀碳模式,碳棒(热阻)蒸发模式,电子束蒸发模式,双溅射模式,溅射-碳丝模式,溅射-碳棒模式,溅射-电子束模式,双电子束模式,可兼容EM VCT500冷冻传输系统,可选辉光放电(用于网格表面亲水化)
• 专利设计脉冲式碳丝蒸发方式,可控制碳膜厚度
• 内置石英膜厚检测器,控制镀膜厚度,精度达0.1nm
• 全自动程序控制,自动完成抽真空,镀膜,放气等过程
• 触摸屏控制,简单方便
• 采用隔膜泵+涡轮分子泵,无油真空系统,真空度≤2×10 -6 mbar
• 溅射电流:0-150mA可调
• 方形样品仓专利设计,样品仓尺寸:200mm(宽)×150mm(深)×195mm(高)
• 样品台内置旋转,工作距离调节范围:30mm-100mm
适合广泛应用领域的高真空镀膜系统
EM ACE600 溅射镀膜机装有可配置式金属处理室,十分灵活,适合广泛的应用领域。实现工作流程目标,满足实验室需求——可在同一个制备过程中运行两个不同的溅射源,还可配置 EM ACE600 用于高级冷冻工作流程。
• 对扁平或结构化的非导电样本进行高分辨率成像
• 增强纳米级结构(如蛋白质或 DNA 链)的对比度
• 生成透射电镜 (TEM) 载网的薄而坚固的支撑层,或者
• 为敏感样本提供保护层
• 扩展冷冻应用中的系统
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